石墨舟推舟系统 石墨舟推舟系统采用软着陆的方式，即将石墨舟放到反应管内部后，石墨舟推舟机构将退出，自动门关上。载片舟是经特殊设计，在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调，再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关，所以推舟系统是本设备的核心部件。 管式PECVD系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。 记者在现场看到，ABB展示针对太阳能行业的一系列先进产品、技术和解决方案，包括工业机器人、低压产品、光伏产品以及可编程逻辑控制器。其中，专用于管式PECVD石墨舟取片/插片的ABB机器人自动工作站配备有ABB“全能冠军”之称的机器人IRB 1600，被广泛应用于太阳能管式PECVD工艺流程石墨舟的取片/插片。
